型號:AMDS以緊湊的結(jié)構(gòu)確保滴液，可高精度控制回吸?？煞乐够瘜W(xué)液體在晶圓上噴吐不良等現(xiàn)象?？筛鶕?jù)流體粘度優(yōu)化定制設(shè)計。氣控閥一體型產(chǎn)品，可削減配管工時并實現(xiàn)緊湊化。